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岱美儀器拿到1臺接觸式光刻機帶納米壓印功能EVG610訂單

發(fā)表時間:2026/9/17 13:36:21

此客戶位于香港,是一所公立研究型綜合大學,同時也是大學教育資助委員會九所擁有全面自行評審資歷的大學之一,為香江學者計劃、絲綢之路大學聯(lián)盟、粵港澳高校聯(lián)盟、粵港澳高校智慧校園聯(lián)盟、京港大學聯(lián)盟、中俄工科大學聯(lián)盟、滬港大學聯(lián)盟成員高校,商學院獲AACSB和EQUIS雙重認證,能源與環(huán)境學院獲得英國CIWEM和IGEM工程師資格;2024~25年度,大學位居英國QS世界大學62位;2025~26年度,美國U.S. News世界大學54位;英國泰晤士高等教育世界大學78位;中國軟科世界大學學術(shù)101-150位;2024年位列CWUR世界大學232位。


EVG®610是一款緊湊型多功能研發(fā)系統(tǒng),可處理小片和最大200 mm的晶圓。


圖片


EVG610支持各種標準光刻工藝,如真空,硬,軟接觸和接近式曝光模式,可選擇背部對準方式。此外,該系統(tǒng)還提供其他功能,包括鍵合對齊和納米壓印光刻(NIL)。EVG610提供快速處理和重新加工,以滿足不斷變化的用戶需求,轉(zhuǎn)換時間不到幾分鐘。其先進的多用戶概念適合初學者到專家級各個階層用戶,非常適合大學和研發(fā)應用。