
該客戶為華東地區(qū)中科院下屬研究所的真空互聯(lián)實驗站,是中國科學院蘇下屬研究所按世界國家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施標準在建的,集材料原位生長、器件加工、測試分析為一體的材料領(lǐng)域重大科學裝置,由中國科學院、江蘇省、蘇州市以及蘇州工業(yè)園區(qū)共同投資建設(shè)。

Table Stable主動隔振系統(tǒng)主要應(yīng)用用該實驗站中的掃描隧道顯微鏡(STM)設(shè)備的主動隔振;掃描隧道顯微鏡(STM),擁有超高分辨率,用于探測單個原子的精密世界。在材料科學、生命科學等諸多領(lǐng)域,它的應(yīng)用非常廣泛,然而,這臺精密儀器的運行卻面臨著一在低頻領(lǐng)域微小振動的干擾。在STM工作時,針尖與樣品之間僅有納米級的間距,任何震動都可能影響圖像質(zhì)量和高階譜的解析度。
來自瑞士Table Stable公司的AVI主動式防震臺,運用壓電陶瓷傳感器,通過感應(yīng)震動產(chǎn)生電信號,通過控制模塊計算出準確的反饋力來抵消外來的震動;尤其是低頻隔振模塊LSF-3并與標準AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用前饋回路,以提高低頻下的隔振性。有效解決STM 面臨的問題。