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GrazingMaster600平面度測量儀專業(yè)為微米級平面度平面零件制造商提供納米級的表面平整度測量功能。采用非接觸式光學(xué)干涉技術(shù)快速測量零件的整個(gè)表面，可以幫助用戶快速評價(jià)從光滑到粗糙平面的平面度誤差，尤其適合非鏡面類平面表面的納米級平面度精密測量。同時(shí)，系統(tǒng)集成白光干涉三維測量顯微鏡，可以同步實(shí)現(xiàn)精密平面表面微觀粗糙度和微結(jié)構(gòu)的三維測量。

TGV600是一款專為玻璃基板(TGV)板級制程開發(fā)的全功能量檢測設(shè)備，集成了顯微內(nèi)應(yīng)力定量測量、高速2D光學(xué)檢測(AOI)與3D形貌量測三大核心能力，覆蓋從TGV通孔加工到填充、布線、封裝的全流程質(zhì)量監(jiān)控需求。系統(tǒng)采用瞬時(shí)光彈測量應(yīng)力定量測量核心技術(shù)，同時(shí)支持集成玻璃基板表面缺陷檢查，通孔2D參數(shù)測量及通孔凹陷3D量檢測功能，為TGV工藝提供快速全流程高性價(jià)比解決方案，是TGV工藝研發(fā)和質(zhì)量監(jiān)控