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晶圓內應力測量儀-SV系列

簡要描述:晶圓或者基板內應力高精度高解析度定量測量和缺陷檢測

  • 產品型號:
  • 廠商性質:代理商
  • 產品資料:
  • 更新時間:2026-07-27
  • 訪  問  量: 169

詳細介紹

產品概況

晶圓或者基板內應力高精度高解析度定量測量和缺陷檢測


核心優勢

采用自主的雙遠心檢測光路,確保內應力測量結果準確可靠

高分辨成像:橫向解析度,可精確定位微小缺陷

具備微管、包裹物、夾雜、氣泡等晶圓缺陷的快速檢測識別和顯微復查功能


檢測內容

  1. 光學延遲

  2. 方位角

  3. 內應力

  4. 微管

  5. 微裂紋


性能參數

晶圓內應力測量儀-SV系列


應用案例

晶圓內應力測量儀-SV系列


適用對象

硅、碳化硅、氮化鎵、藍寶石、砷化鎵、磷化錮、碲鋅鎘、石英、玻璃等各種透光材料襯底品圓及外延片

硅、碳化硅、氮化鎵、藍寶石、砷化鎵、磷化錮、碲鋅鎘、石英、玻璃等各種透光材料襯底品圓及外延片


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