

詳細介紹
產品概況
專為透明材料微區應力測量設計,集成瞬時光彈測量與多波長,搭配雙遠心視覺引導,實現全自動測量。具備微米級橫向分辨率與亞納米級應力靈敏度,可清晰呈現TGV通孔區域應力分布
核心優勢
雙模測量:覆蓋0.1nm-1500nm光程差自動檢測,雙遠心視覺引導,適配批量測試
納米級靈敏度:捕捉微弱應力變化
高分辨率:清晰解析微孔結構
拼接測量:支持大尺寸樣品擴展測試
檢測內容
顯微成像
相位延遲
光學延遲
內應力
方位角
性能參數

應用案例

適用對象
適用于玻璃通孔(TGV)、品圓級封裝、MEMS及微透鏡陣列等微型特征的研發與生產質控
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