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美國FSM 薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備：在襯底鍍上不同的薄膜后, 因為兩者材質(zhì)不一樣，以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會引起應(yīng)力。 如應(yīng)力太大會引起薄膜脫落, 引致組件失效或可靠性不佳的問題。 薄膜應(yīng)力激光測量儀利用激光測量樣本的形貌,透過比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計算出應(yīng)力, 是品檢及改進工藝的有/效手段。

美國FSM 高溫薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備：美國FSM成立于1988年，總部位于圣何塞，多年來為半導(dǎo)體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測量設(shè)備。

專為透明材料微區(qū)應(yīng)力測量設(shè)計，集成瞬時光彈測量與多波長，搭配雙遠心視覺引導(dǎo)，實現(xiàn)全自動測量。具備微米級橫向分辨率與亞納米級應(yīng)力靈敏度，可清晰呈現(xiàn)TGV通孔區(qū)域應(yīng)力分布

晶圓或者基板內(nèi)應(yīng)力高精度高解析度定量測量和缺陷檢測

專用于精確測量晶圓的三維翹曲度和薄膜應(yīng)力，提高芯片制造的良率，保障薄膜制備工藝的可靠性

StrainScope Flex可調(diào)式實時應(yīng)力儀 產(chǎn)品具有測量速度快、精度高、重復(fù)性好等特點，對大尺寸樣品可拼接測量。其應(yīng)力測量設(shè)備用戶包括肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。應(yīng)用領(lǐng)域包括光學材料、醫(yī)用包裝材料、高分子類密封材料等。